你知(zhī)道精密加工有幾種分類嗎?
【摘要】:精密(mì)加(jiā)工對工件原料、加工設備(bèi)、東西、丈量和環境等條件都有特別(bié)的要求,需求綜合使用精密機械、精密丈量、精密伺服係統、計算機控製以及其他先進技術。超精密加工的精度比傳統的精密加工提高了一(yī)個以上的數量級,除需求選用新的加工辦法或新(xīn)的加工機理之外,對工件原料,加工設備(bèi)、東西、丈量和環境條件等都有特別的要(yào)求。 |
精密加工的精(jīng)度(dù)比傳統的精密(mì)加工提高了一個以上的數量(liàng)級。
精密加工對工件原料、加工設備、東西、丈量和環境等條件都有(yǒu)特別的要求,需(xū)求綜合使用精密機械、精密丈量、精密伺服係統、計算機控製以及(jí)其他先進技術(shù)。超(chāo)精密加工的精度比傳統的精密加工提高了一個以上的數量級,除需(xū)求選(xuǎn)用新的加工辦法或新的加(jiā)工機理(lǐ)之外,對工件原料,加工設備、東西、丈量和環境(jìng)條件(jiàn)等都有(yǒu)特別的要求。
你知(zhī)道在(zài)精密加工時有分幾(jǐ)種加工辦法呢?咱們一起來看下吧。
精密特(tè)種加工的加工精度以納米,乃至最終以(yǐ)原子單位(原子晶格間隔為0.1~0.2納米)為目標時,切削(xuē)加工辦法已(yǐ)不能適應,需求借助特種加工的辦法,即使用化學(xué)能、電化學(xué)能、熱能或電能等,使這些能量逾越原子(zǐ)間的(de)結合能,然後去除工件外(wài)表的(de)部分原子間的附(fù)著、結合(hé)或晶格變形,以到達超精密(mì)加工的目的。
例如超大(dà)規模集成電路的製版就是選用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑(見光(guāng)刻)進行曝射,使(shǐ)光致抗蝕劑的原子在電(diàn)子撞擊下直接聚合(或分解),再(zài)用顯影劑把(bǎ)聚合過的或未聚合過的部分溶解掉,製成掩膜。電子束曝射製(zhì)版需求選(xuǎn)用工作台定位精(jīng)度高達±0.02微米的超(chāo)精密加工設備。
歸於這類加工的有機械(xiè)化學拋光(guāng)、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬(shǔ)蒸(zhēng)鍍和(hé)分子(zǐ)束外(wài)延等。這些辦法的特點是對外表層物質去除或增(zēng)加的量可以作極纖細的控製。可是要獲得超精(jīng)密(mì)的加工精度,仍(réng)有賴於(yú)精密的加工設備和精確的控(kòng)製係統,並選用超精密掩(yǎn)膜作中介物。
精密切削加工主要有超精密車削、鏡麵磨削和研磨等。在超精密車(chē)床上用經(jīng)過精密研磨的單(dān)晶金(jīn)剛石車刀進行微量(liàng)車削,切(qiē)削厚度僅1.5微米左右,常用於加工有色金屬(shǔ)材料的球麵(miàn)、非球麵平和麵的反射鏡等高精(jīng)度(dù)、外表(biǎo)高度光亮的零件。